| 图 片 |
设备名称 |
制造商 |
型号 |
年份 |
详细配置 |
状 态 |
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溅射台 |
ULVAC |
SME200 |
2005 |
设备完整不缺件； |
国外
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气相沉积设备 |
ULVAC |
CV-200 |
2005 |
6"设备完整不缺件; |
国外
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去胶机 |
ULVAC |
UNA2200 |
- |
200mm设备完整不缺件; |
国外
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去胶机 |
ULVAC |
PHOENIX Ⅱ |
- |
200mm设备完整不缺件; |
国外
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薄膜测量系统 |
ULVAC |
Zi-1000N |
2001 |
少冷冻机,其他都完整; |
国内
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干法刻蚀 |
ULVAC |
NE-950 ICP |
2010 |
设备在台湾,已接电测试完毕,ψ330mm tray,ICP单制程腔 |
国内
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蒸发台 |
ULVAC |
EI-5T |
2010 |
设备在台湾,已接电测试完毕,照片是未整新之前照片,有规格书; |
国内
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真空检漏仪 |
ULVAC |
304 |
2000.04 |
- |
国内
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蒸发台 |
ULVAC |
EI-5 |
2007 |
设备完整不缺件,在线热机可做验证片; |
国内
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溅射台 |
ULVAC |
SIH-450 |
2001 |
2-8" 1L/L chamber+1process chambe |
已售出
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氦气检漏仪 |
ULVAC |
HELIOT |
- |
设备完整不缺件; |
已售出
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表面轮廓仪 |
ULVAC爱发科 |
DEKTAK 3030ST |
- |
4",5"在线热机; |
国内
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蒸发台 |
ULVAC爱发科 |
EBX-16CF |
- |
4",5",6"电子束蒸发,在线热机; |
国内
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刻蚀机 |
ULVAC |
NE-5500 |
- |
设备完整不缺件; |
国外
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蒸发台 |
ULVAC-KIKO |
SYSTEM-1200IIS |
- |
设备完整不缺件,有2台现货; |
国内
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溅射台 |
ULVAC |
SPL-500 |
1992 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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溅射台 |
ULVAC |
SPF-530H |
1983 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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溅射台 |
ULVAC |
SPC-540H |
1986 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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测试仪 |
ULVAC |
SMAT200 |
2000 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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溅射台 |
ULVAC |
SH-550-C10 |
2008 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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溅射台 |
ULVAC |
SH-550 |
2001 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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刻蚀机 |
ULVAC |
NLDE-9035 |
1997 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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刻蚀机 |
ULVAC |
NE-7710 |
2003 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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|
刻蚀机 |
ULVAC |
NE5500 |
- |
设备完整不缺件,有2台现货; |
国内
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溅射台 |
ULVAC |
L-7530HCL |
1998 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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离子注入机 |
ULVAC |
IH-860 |
1994 |
设备完整不缺件,有2台现货; |
国内
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离子注入机 |
ULVAC |
IDZ-8001 |
1995 |
设备完整不缺件,有3台现货; |
国内
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蒸发台 |
ULVAC-KIKO |
EVC-1701 |
- |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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激光椭偏仪 |
ULVAC |
ESM-1A |
- |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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蒸发台 |
ULVAC |
EBX8T |
- |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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退火炉 |
ULVAC |
EBX-8C |
2015 |
设备完整不缺件,有5台现货; |
国内
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溅射台 |
ULVAC |
EBX-2000C |
1993 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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蒸发台 |
ULVAC |
EBX-16C-3 |
1988 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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蒸发台 |
ULVAC |
EBX-16C-2 |
1984 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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蒸发台 |
ULVAC |
EBX-16C-1 |
1984 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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蒸发台 |
ULVAC |
EBX-16C |
- |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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|
蒸发台 |
ULVAC |
EBX-10D |
- |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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|
多腔溅射设备 |
ULVAC爱发科 |
W300 EX |
2005.11 |
300mm As-Is, Where-Is,不含硬盘,设备在美国; |
国外
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溅射台 |
ULVAC |
C-7530HCL |
1998 |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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|
蒸镀机 |
ULVAC-KIKO |
BHCU-12P-75A |
1984/1987/ |
设备完整不缺件,有3台现货; |
国内
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|
蒸镀机 |
ULVAC-KIKO |
BHCU-12P-75Ⅱ |
1999/2000 |
设备完整不缺件,有2台现货; |
国内
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|
全自动蒸着装置 |
ULVAC |
AAMF-CW2280SPB |
- |
设备完整不缺件,有3台现货; |
国内
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全自动蒸着装置 |
ULVAC |
AAMF-2290SPBRR |
- |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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|
全自动蒸着装置 |
ULVAC |
AAMF-2080 |
- |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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|
全自动真空蒸着装置 |
ULVAC |
AAMF-2075SPB |
- |
设备完整不缺件,有1台现货; |
国内
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|
多腔溅射设备 |
ULVAC爱发科 |
W300 EX |
- |
As-is Multi-ch(8ch)Sputtering |
国外
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蒸发台 |
ULVAC爱发科 |
EI-7K |
- |
As-is |
国外
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|
蒸发台 |
ULVAC爱发科 |
EI-5 |
2006 |
设备完整不缺件,有2台现货; |
国外
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|
镀膜机 |
ULVAC爱发科 |
Chamber(5CH) |
- |
12 As-is |
国外
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扩散炉 |
ULVAC爱发科 |
V8-100 |
1998-2000 |
6" Furance |
国外
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|
溅射台 |
ULVAC |
SRH-420Z |
- |
设备完整不缺件,有2台现货; |
已售出
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|
溅射台 |
ULVAC爱发科 |
SRH-420Z |
- |
- |
国外
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中束流离子注入机 |
ULVAC |
IH-860PSIC |
- |
设备完整不缺件,现货在浙江;20001918 |
国内
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蒸发台 |
ULVAC |
EBX-1000 |
- |
- |
国内
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|
薄膜沉积 |
ULVAC爱发科 |
CC-200C |
- |
- |
国内
|
|
刻蚀去胶 |
ULVAC爱发科 |
NA8000 |
- |
- |
国内
|
|
刻蚀去胶 |
ULVAC爱发科 |
NE950 |
- |
- |
国内
|
|
刻蚀去胶 |
ULVAC爱发科 |
NE5000N |
- |
- |
国内
|
|
溅射台 |
ULVAC |
SME200 |
- |
- |
国内
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|
高速热处理器(新) |
ULVAC |
R81MA |
- |
设备完整不缺件;30100094 |
国内
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|
高速热处理器(新) |
ULVAC |
R81MS |
- |
设备完整不缺件;30100095 |
国内
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|
热矽化物处理器(新) |
ULVAC |
LOTUS-201 |
- |
设备完整不缺件;30100100 |
国内
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 |
溅射台 |
ULVAC |
SME200 |
2003 |
8"设备完整不缺件(爱发科),有3个腔,1个刻蚀腔+2个溅射腔,原 |
国内
|
 |
多腔溅射设备 |
ULVAC爱发科 |
EX W300 |
2012 |
12"不含硬盘,有3台现货在韩国; |
国外
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|
蒸发台 |
ULVAC爱发科 |
EI-7K |
- |
As-is |
国外
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|
蒸发台 |
ULVAC爱发科 |
EI-5K |
- |
As-is |
国外
|
|
镀膜机 |
ULVAC爱发科 |
Chamber(5CH) |
- |
12" As-is |
国外
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 |
刻蚀机 |
ULVAC |
uGmni-200E |
2024 |
设备完整不缺件,目前是4个腔,但有5个腔的安装位; |
国内
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|
叶片式溅射设备 |
ULVAC爱发科 |
ZX-1000 |
1996 |
Reflow x 1, Ti/TiN LTS x1, Degas |
国外
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|
溅射台 |
ULVAC |
SME200J |
- |
设备完整不缺件,带PZT高温成膜模块; |
国内
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|
热矽化物处理器(新) |
ULVAC |
TS8 |
- |
设备完整不缺件;30100096 |
国内
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|
干法刻蚀机 |
ULVAC |
NA-8000 |
2010 |
设备完整不缺件,国内在线热机; |
国内
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|
等离子化学气相沉积 |
ULVAC |
CC-200C |
2008 |
设备完整不缺件,国内在线热机; |
国内
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|
电感耦合等离子体刻蚀机 |
ULVAC |
NE-950EXz |
2012 |
设备完整不缺件,国内在线热机; |
国内
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