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图 片 设备名称 制造商 型号 年份 详细配置 状 态
ASML XT1250D光刻机 ASML XT1250D光刻机 ASML XT1250D - 设备完整不缺件; 国外
ASML AT850C光刻机 ASML AT850C光刻机 ASML AT850C 2004 已拆卸在洁净室中,晶圆300mm,无HDD上海价.
ASML T
国外
ASML PAS 5500/1150C光刻机 ASML PAS 5500/1150C光刻机 ASML 5500/1150C 2003.06 - 国外
ASML PASS 5500/100D光刻机 ASML PASS 5500/100D光刻机 ASML PASS 5500/100D 1996 6in(有3台) 国外
ASML XT1250D光刻机 ASML XT1250D光刻机 ASML XT1250D - 无尘车间正常运转中 国外
ASML TWINSCAN 1100光刻机 ASML TWINSCAN 1100光刻机 ASML TWINSCAN 1100 2002 新型320毫米/秒双级
最高的光学利用率
平行校准计量
国内
ASML AT1150C光刻机 ASML AT1150C光刻机 ASML AT-1150C 2004 Stepper 12" 国内
ASML XT1250B光刻机 ASML XT1250B光刻机 ASML XT1250B 2005 - 国外
ASML XT1700Gi光刻机 ASML XT1700Gi光刻机 ASML XT1700Gi 2006 - 国外
ASML XT1700FI光刻机 ASML XT1700FI光刻机 ASML XT1700FI 2009 - 国外
ASML XT1250D光刻机 ASML XT1250D光刻机 ASML XT1250D 2005 - 国外
ASML XT1250D光刻机 ASML XT1250D光刻机 ASML XT1250D 2004 1) Wafer 12inch
2) Reticle-6inch
国外
ASML XT1700FI光刻机 ASML XT1700FI光刻机 ASML XT1700FI 2012 1700iP, uniformity(1.01%),Cymer X 国外

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AMAT mirra MESA CMP
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EBARA F-REX3000 CMP
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LAM 2300 Exelan Flex蚀刻机
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AMAT Endura II气相沉积
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