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图 片
设备名称
制造商
型号
年份
详细配置
状 态
LAM RAINBOW 4520i干法刻蚀机
LAM
4520i
2000
设备完整不缺件,在美国仓库中;
国外
LAM RESEARCH 9400等离子刻蚀机
LAM
9400
2000
设备完整不缺件,在美国仓库中;
国外
LAM TE490干法刻蚀机
LAM
TE490
-
6"
国内
LAM TE490干法刻蚀机
LAM
TE490
-
6"
国内
LAM 2300 Exelan Flex蚀刻机
LAM
2300 Exelan Flex
-
4室Ath-1600涡轮增压+交流箱;
国内
LAM C2 Triple SPEED气相沉积
LAM
C2 Triple SPEED
-
设备完整不缺件;
国外
LAM 2300 Exelan Flex45 ICP蚀刻机
LAM
2300 Exelan Flex45
-
设备型号:2300 Exelan Flex 45
类型:ICP蚀
国外
LAM RAINBOW 4520XL干法刻蚀机
LAM
4520XL
-
-
国外
LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机
LAM泛林
RAINBOW-4420
1994
设备完整不缺件,目前在亚洲.
ISO蚀刻
晶圆尺寸200 mm
已售出
LAM RAINBOW 4520XL干法刻蚀机
LAM泛林
4520XL
2000
热机运行中,但风扇需要更换.
国外
LAM 490B干法刻蚀机
LAM泛林
490B
-
备件机 6"
国内
LAM 490B干法刻蚀机
LAM泛林
490B
-
备件机 6"
国内
LAM SEZ203晶圆旋转刻蚀机
LAM泛林
SEZ203
-
-
已售出
LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机
LAM泛林
RAINBOW 4420
-
6" As-is
国外
LAM RESEARCH 2300多晶硅蚀刻机
LAM泛林
2300
2005
missing parts缺件:
Load port 1 mis
已售出
LAM RESEARCH 9400 SE等离子刻蚀机
LAM泛林
9400 SE
1997
整机完整不缺件
国外
LAM TCP9400氮化镓刻蚀机
LAM泛林
TCP9400(备用机)
2018-12-24
260台设备可打包或单独出售;
已售出
LAM Chambers for Altus, 12
LAM泛林
Chambers for Altus, 12
-
-
国外
LAM RESEARCH EOS
LAM泛林
RESEARCH EOS
-
-
国外
LAM ONE-W PLASMA CVD_W
LAM泛林
ONE-W
1995
CVD
国外
LAM TWO PLASMA CVD
LAM泛林
TWO
2000
CVD
国外
LAM TWO Speed PLASMA CVD
LAM泛林
TWO Speed
2000
CVD
国外
LAM RST201刻蚀机
LAM泛林
RST201
1996
WET
国外
LAM RST201刻蚀机
LAM泛林
RST201
1997
WET
国外
LAM SEZ203晶圆旋转刻蚀机
LAM泛林
SEZ203
2005
WET
国外
LAM RAINBOW 4420等离子刻蚀机
LAM泛林
RAINBOW 4420
-
6" As-is
国外
LAM Synergy CMP
LAM泛林
Synergy
1997
-
国外
LAM(Novellus) Vector Express CVD
LAM(Novellus)
Vector Express
2011
CVD34x, underutilized at FAB8, us
国外
LAM(Novellus) Vector Express CVD
LAM(Novellus)
Vector Express
2011
-
国外
LAM(Novellus) Vector CVD
LAM(Novellus)
Vector
2005
Vector RPC
国外
LAM(Novellus) Vector Express CVD
LAM(Novellus)
Vector Express
2004
PESINn PETEOS, Loadport_Fixload 6
国外
LAM Strip45 Chamber Etch
LAM泛林
Strip45 Chamber
2010
Strip45 chamber only
国外
LAM Strip45 Chamber Etch
LAM泛林
Strip45 Chamber
2010
Strip45 chamber only
国外
LAM Strip45 Chamber Etch
LAM泛林
Strip45 Chamber
2010
Strip45 chamber only, Revolution
国外
LAM(Novellus) Vector SOLA xT CVD
LAM(Novellus)
Vector SOLA xT
2011
UV Cure
国外
LAM(Novellus) Vector CVD
LAM(Novellus)
Vector
2004
-
国外
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