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半导体工艺设备定制
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二手半导体设备出售
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龙玺精密-VTM单晶炉-可非标定制
VTM单晶炉是依据我公司自主研发的VTM工艺方法所设计的新型单晶工艺设备,设备由加热系统、运动系统支撑机构、电控系统四部分组成,适用碲锌镉、碲化镉、锑化镓等多种化合物半导材料的单晶生长。

VTM单晶炉设备特点:
晶体生长界面引入磁力控制,稳定晶体生长方向,提高了单晶成品率;
整机的机械运动及加热系统采用PC控制,菜单数据可输入,历史数据可查询,具有声、光报警,生产重复性高;
加热系统分主加热装置和辅助加热装置,主加热控制整体温度、辅助加热可移动,实现局部加热的高精度,加强了温场的可控性;
运动系统采用一键式控制既满足装炉时的快速升降,又可以精确控制晶体生长时炉体的缓慢行程速度,大大提高生产效率;
支撑机构采用分体式设计,保暲稳定性同时有效阻隔了震动,提高单晶生长的质量及成品率;
采用刚性传动机构,传动效率高,稳定性强。
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