| 龙玺精密-为您提供AMAT Producer GT CVD化学气相沉积设备设备买卖+翻新全套解决方案
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| 编 号:2331 (发布时间:2022.7.16) |
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| 名 称:AMAT Producer GT CVD化学气相沉积设备 |
| 厂 商:AMAT |
| 型 号:Producer GT |
| 年 份:2007 |
| 状 态:国外 |
Producer GT晶圆尺寸:300mm
生产者 GT: 配置
FI:5.4
服务器:IBM 306m FI
机器人:Kawasaki x2ea FI
机器人控制器:Kawasaki x2ea(型号:30D61H-A203)
加载端口:4 端口
主机配置 处理室: 室 A:SICONI 室 B:SICONI 室 C:SICONI 本地中心查找器:是 Xfer 机器人:是
腔室配置:腔室-A 和 B 和 C:加热器:陶瓷加热器 x2ea 盖子:是 挡板:待定 面板:待定 压力计:10/100 Torr/10Torr
子单元:显示器机架 x2set DVR x1set AC 机架 x1ea 零件盒 x3ea
备注:缺少的部分:热交换器(箱体用)x1set、硬盘. |
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