| 龙玺精密-为您提供NIKON NSR S204B分步投影光刻机设备买卖+翻新全套解决方案
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| 编 号：2287 (发布时间:2022.6.11) |
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| 名 称：NIKON NSR S204B分步投影光刻机 |
| 厂 商：NIKON |
| 型 号：NSR-S204B |
| 年 份：- |
| 状 态：国外 |
NSR-S204B(激光器是giga)
Manufacturer : NIKON
Inline_Cot / Dev : TEL ACT8
Inline : Left
Wafer specifications : Φ8 Orifura
Wafer Chuck : Mitsubishi Nano Flat II
Reticle specification : 6 inch NIKON cassette
Number of reticle libraries : 10 sheets x 2 stages (20 sheets in total)
With PPD
With RBCR
Laser Type : GIGA G20K2 / Serial: 5069
Chamber Type : ASAHI N5Z-A / Serial: N5Z1901
Operating status : In operation
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