| 龙玺精密-为您提供AMAT Producer GT CVD化学气相沉积设备设备买卖+翻新全套解决方案
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| 编 号：2330 (发布时间:2022.7.15) |
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| 名 称：AMAT Producer GT CVD化学气相沉积设备 |
| 厂 商：AMAT |
| 型 号：Producer GT |
| 年 份：2008 |
| 状 态：国外 |
Producer GT晶圆尺寸：300mm
生产者GT：配置FI
类型：SFEM(制造商：MATTSON)
FI 机器人：SFEM Dual BladeType
FI 机器人控制器：未知
负载端口：2 端口
计量：NA UPS：Powerware 5115 0190-26019
TCS：0090-06236
FES：0090-06237 FIS：0090-06233 CGA 服务器
主机配置 ：处理室： 室 A：HARP (USG) 室 B：HARP (USG) 室 C：HARP (USG) 本地中心查找器：是 Xfer 机器人刀片：FX 双甲板陶瓷.
腔体配置：腔体 A 和 B 和 C： 加热器：HA12 真空吸盘 盖子：水冷,带 RF 盖 挡板：未知 面板：水冷 压力计：20/1000 Torr/50Torr Trip RPS：NPP-804L.
子机：显示器机架 x1set 臭氧发生器机架 x1ea 交流机架 x1ea NPP 电源机架 (NPK-300A) x1ea.
系统描述：气箱 部件号：0040-35688 水冷前级配置 - TV：MKS 683B-31931 |
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