| 龙玺精密-为您提供SEMITOOL SRD-470S旋转漂洗干燥机设备买卖+翻新全套解决方案
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| 编 号:1798 (发布时间:2021.10.1) |
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| 名 称:SEMITOOL SRD-470S旋转漂洗干燥机 |
| 厂 商:SEMITOOL |
| 型 号:SRD-470S |
| 年 份:- |
| 状 态:国外 |
SRD-470S1、电源电压:1相100V 18A
2、频率:50/60 Hz
3、N2流量:125~216L/min
4、纯水流量:5.7~7.6L/min
5、N2、纯水管径:3/8
6、排气、机柜排气、排水管:VP20、VP30、VP20
7、晶圆尺寸:3英寸
8、控制器:PSC-101 |
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