85206"设备完整不缺件,3线/230伏/20安培/50/60赫兹,晶圆厚度 350μm~1100μm,晶圆载体2 FUP 6和8,晶片映射微型光学传感器,SECS-GEM接口;
CDA压力:100磅/平方英寸/689千帕(±10%范围)
流量:2标准立方英尺/分(SCFM)/80升/分钟(±10%范围);
AMC:挥发性有机化合物(VOC)的最大浓度必须低于150纳克/升;
阴离子浓度必须低于14纳克/升,阳离子浓度必须低于10纳克/升;
水分含量:在1.0大气压下低于20PPM,相当于露点为-30摄氏度(-22华氏度);
真空压力:-680 mm Hg/-90 KPa(±10%范围);
流量:0.64 标准立方英尺/分(SCFM)或18升/分钟(±10%范围);
Candela 85 XX使用了两台激光器
波长405纳米，功率60毫瓦(根据CDRH 21CFR 1040标准，属于IIIb类);
波长355纳米，功率20毫瓦(根据CDRH 21CFR 1040标准，属于IIIb类); |
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