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制造商
型号
年份
详细配置
状 态
SVG MSX1000 涂胶显影机
SVG
MSX1000
2006
2" 2C(PBF Coater)
国外
DNS SC-W80A-AVFG刷片机
DNS
SC-W80A-AVFG
1996.12
8" Scrubber
国外
DNS SCW-636-BV 涂胶显影机
DNS
SCW-636-BV
1988
6" 2C
国外
TEL MARK-II涂胶显影机
TEL
MARK-II
1989
6" 2D
国外
TEL MARK-II涂胶显影机
TEL
MARK-II
1989
6" 2D
国外
TEL IW-6D扩散炉
TEL
IW-6D
1996
5" 立式氧化
国外
TEL IW-6D扩散炉
TEL
IW-6D
1997
5" 立式氧化
国外
TEL UL-2604-08-HS扩散炉
TEL
UL-2604-08-HS
1988
6" 四管卧式氧化
国外
TEL UL-2604-08-HS扩散炉
TEL
UL-2604-08-HS
1988
6" 四管卧式氧化
国外
TEL UL-2604-08L扩散炉
TEL
UL-2604-08L
1990
6" 四管卧式氧化
国外
NITTO DENKO USD-6·D-11·2-2扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-11·2-2
1989
6" 立式常压扩散
国外
NITTO DENKO USD-6·D-12·2-1扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-12·2-1
1989
6" 立式常压扩散
国外
NITTO DENKO USD-6·D-5·3-2扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-5·3-2
1989
6" 立式常压扩散
国外
NITTO DENKO USD-6·D-7·3-2扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-7·3-2
1989
6" 立式常压扩散
国外
NITTO DENKO USD-6·D-8·3-7扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-8·3-7
1989
6" 立式常压扩散
国外
NITTO DENKO USD-6·D-8·3-8扩散炉
NITTO DENKO
USD-6·D-8·3-8
1989
6" 立式常压扩散
国外
Toshiba Machine EGV-28GX外延炉
Toshiba Machine
EGV-28GX
1998
6" 双腔平板式外延
国外
Shibaura CDE-7-3A 干法刻蚀机
Shibaura
CDE-7-3A
1989
6" 微波去胶
国外
HITACHI M-308AT干法刻蚀机
HITACHI
M-308AT
1993
6" 刻金属
国外
Alcan Tech MAS-801干法刻蚀机
Alcan Tech
MAS-801
1990
6" 等离子体去胶
国外
Alcan Tech MAS-801干法刻蚀机
Alcan Tech
MAS-801
1990
6" 等离子体去胶
国外
Alcan Tech MAS-801干法刻蚀机
Alcan Tech
MAS-801
1990
6" 等离子体去胶
国外
Alcan Tech MAS-801干法刻蚀机
Alcan Tech
MAS-801
1990
6" 等离子体去胶
国外
TEL TE480HGC干法刻蚀机
TEL
TE480HGC
1989
6" SIN刻蚀
国外
TEL TE480HGC干法刻蚀机
TEL
TE480HGC
1989
6" SIN刻蚀
国外
TEL VDF610S立式扩散炉
TEL
VDF610S
1989
6" 立式扩散
国外
NISSIN NH-20SR离子注入机
NISSIN日新
NH-20SR
1989
6" 中束流
国外
NISSIN NH-20SR离子注入机
NISSIN日新
NH-20SR
1989
6" 中束流
国外
NEC Laser Automation SL-473F打标机
NEC Laser Automation
SL-473F
1997
6" 激光打标
国外
DAN SCIENCE DI-200H-AR烘箱
DAN SCIENCE
DI-200H-AR
1995
6"
国外
TEL MAC-92CV掩膜版测试仪
TEL
MAC-92CV
1997
6" overlay
国外
NAPSON RG-8 电阻率测试仪
NAPSON
RG-8
1990
6"
国外
Dainippon Screen MFC SCW-622-BV旋转涂膜机
Dainippon Screen MFC
SCW-622-BV
1989
6" 双轨SOG
国外
NIKON NSR 1505G6E光刻机
NIKON
NSR-1505G6E
1998
6"
国外
NIKON NSR 1505G6E光刻机
NIKON
NSR-1505G6E
1998
6"步进式
国外
NITTO SEIKI Detaper去膜机
NITTO SEIKI
Detaper
-
6" 揭膜
国外
Nanometrics M-215膜厚测量仪
Nanometrics
M-215
1989.05
6"
国外
Nanometrics M-215膜厚测量仪
Nanometrics
M-215
1989.05
6"
国外
USHIO UMA-802-H55RM紫外线固胶机
USHIO
UMA-802-H55RM
1989
6" UV HARDEN USHIO INC.
国外
USHIO UMA-802-H55RM紫外线固胶机
USHIO
UMA-802-H55RM
1989
6" UV HARDEN USHIO INC.
国外
USHIO UMA-802-HC551RM紫外线固胶机
USHIO
UMA-802-HC551RM
1994
6" UV HARDEN USHIO INC.
国外
USHIO UMA-802-HC55RM紫外线固胶机
USHIO
UMA-802-HC55RM
1994
6" UV HARDEN USHIO INC.
国外
VPRA-6检版机
-
VPRA-6
-
6"
国外
NIKON NSR SF120光刻机
NIKON
NSR-SF120
-
12"
已售出
NIKON NSR SF120光刻机
NIKON
NSR-SF120
-
12"
已售出
NIKON NSR SF130光刻机
NIKON
NSR-SF130
-
12"
已售出
NIKON NSR 4425i光刻机
NIKON
NSR-4425i
1995.1
8"(缺件)
已售出
NIKON NSR 1755i7A光刻机
NIKON
NSR-1755i7A
1990.9
6"暂停销售
已售出
NIKON NSR 2005i8A光刻机
NIKON
NSR-2005i8A
-
6"暂停销售
已售出
TEL Lithius涂胶显影机
TEL
Lithius
2005.3
8"暂停销售
已售出
Toho technology H840A甩干机
Toho technology
H840A
-
6"卧式甩干
国外
Toho technology H841A甩干机
Toho technology
H841A
-
6"卧式甩干
国外
Arbrown SPD-160RN甩干机
Arbrown
SPD-160RN
-
6"卧式甩干
国外
Arbrown H1220RNN甩干机
Arbrown
H1220RNN
-
6"卧式甩干
国外
SCREEN R1W-811甩干机
SCREEN
R1W-811
-
6"卧式甩干
国外
Varian 120XP大束流离子注入机
Varian
120XP
1989.9
6"大束流
国外
NIKON NSR 1755i7B光刻机
NIKON
NSR-1755i7B
-
6"
国外
NIKON NSR 1505G7E光刻机
NIKON
NSR-1505G7E
-
6"备件机
国外
NIKON NSR 1505G6E光刻机
NIKON
NSR-1505G6E
-
6"备件机
国外
KOKUSAI DD-803V扩散炉
KOKUSAI
DD-803V
1991.7
6"立式氧化
国外
TECHNOS TREX610T缺陷测试仪
TECHNOS
TREX610T
1992.4
6"
国外
TEL MARK8涂胶显影机
TEL
MARK8
1997.3
8" 2C/1D
国外
SVG-8800涂胶机
SVG
8800
-
6" 2C
国外
SVG-8800涂胶机
SVG
8800
-
6" 2C
国外
SVG-8800显影机
SVG
8800
-
6" 2D
国外
SVG-8800显影机
SVG
8800
-
6" 2D
国外
Yes-1烘箱
-
Yes-1
-
6" HMDS
国外
NIKON NSR 2205i11D光刻机
NIKON
NSR-2205i11D
-
6"
国外
MP FSI
MP
FSI
1989.6
在购热机 6" H2SO4/HCL/HF/H2O2/NH4OH;6
国外
SCP 8400清洗机
SCP
8400
1997.2
在购热机 6" 半自动槽式;H2SO4/HCL/HF/H2O2/N
国外
SCP 8400清洗机
SCP
8400
1997.2
在购热机 6" 半自动槽式;HF/HCL/H2O2/NH4OH;1
国外
SCP 8400清洗机
SCP
8400
1997.2
在购热机 6" 槽式;HF/HCL/H2O2//NH4OH;16卡
国外
RTS-8四探针台
RTS
RTS-8
2007
6"缺备件不可调试,作备件机
国外
TAKATORI ATRM-2100去膜机
TAKATORI
ATRM-2100
1994.6
6"缺备件,长期宕机
国外
SCP PBL/SCP清洗机
SCP
PBL/SCP
1994.5
在购热机 6" 半自动槽式;ox/SiN剥离;HF/H3PO4;6
国外
SCP-8400清洗机
SCP
8400
1994.5
在购热机 6" 半自动槽式;去胶;H2SO4/H2O2;6卡塞
国外
SCP 8400清洗机
SCP
8400
1992.11
在购热机 6" 槽式;BM Rework
国外
SCP 8400清洗机
SCP
8400
1992.11
在购热机 6" 手动槽式;OX剥离;HF;4卡塞
国外
SCP 8400清洗机
SCP
8400
1992.11
在购热机 6" BOE7：1;ox剥离;6卡塞
国外
SCP 8400清洗机
SCP
8400
1992.11
在购热机 6" 半自动槽式;去胶;H2SO4/H2O2;6卡塞
国外
AMAT 8310刻蚀机
AMAT应用材料
8310
1988.6
在购热机 6" 刻压点;18片/炉;最大1800W;机械手传片
国外
AMAT 8330刻蚀机
AMAT应用材料
8330
1991.4
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传片
国外
AMAT 8330刻蚀机
AMAT应用材料
8330
1990.7
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传片
国外
AMAT 8330刻蚀机
AMAT应用材料
8330
1990.7
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传片
国外
AMAT 8330刻蚀机
AMAT应用材料
8330
1990.5
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传片
国外
GASONICS Aura-1000干法去胶机
GASONICS
Aura-1000
1994.1
部分完整 6" 可调试 单片微波;最大1000W;机械手传片
国外
AMAT 8310刻蚀机
AMAT应用材料
8310
1991.5
在购热机 6" 刻压点;18片/炉;最大1800W;机械手传片
国外
AMAT 8310刻蚀机
AMAT应用材料
8310
1992.6
在购热机 6" 刻压点;18片/炉;最大1800W;机械手传片
国外
AMAT 8330刻蚀机
AMAT应用材料
8330
1990.2
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传片
国外
AMAT 8330刻蚀机
AMAT应用材料
8330
1988.8
在购热机 6" 刻AL;18片/炉;最大1800W;机械手传片
国外
CDE CDE-73B 刻蚀机
CDE
CDE-73B
1999.9
在购热机 6" 刻Si;4片/炉;最大功率900W;皮带传片
国外
Mattson Aspen II CVD
Mattson
Aspen II
2007
离线完整设备 6" CVD(SiO2/SiN);4片/腔;单腔;3
国外
Varian M2i溅射台
Varian
M2i
1995.7
在购热机 6" 单片溅射;4个靶位(Ti/AL/Wsi);WPH=
国外
SEMIX TOK TR6132涂胶机
SEMIX TOK
TR6132
1999.12
在购热机 6" SOG;1条轨道;机械传片;WPH=25
国外
AXCELIS M150PC紫外线固胶机
AXCELIS
M150PC
1989
在购热机 6" 单片;自动传片;WPH=25
国外
AXCELIS M150PC紫外线固胶机
AXCELIS
M150PC
1990
备件机台 6" 单片;自动传片;WPH=25
国外
AXCELIS M150PC紫外线固胶机
AXCELIS
M150PC
1990
在购热机 6" 单片;自动传片;WPH=25
国外
AXCELIS M150PC紫外线固胶机
AXCELIS
M150PC
1990
在购热机 6" 单片;自动传片;WPH=25
国外
AXCELIS M150PC紫外线固胶机
AXCELIS
M150PC
1990
在购热机 6" 单片;自动传片;WPH=25
国外
NIKON NWL 860+OPTIPHOT 200显微镜
NIKON
NWL 860+OPTIPHOT 200
2004
备件机台 6" 带自动传片功能
国外
NIKON NWL 860+OPTIPHOT 200显微镜
NIKON
NWL 860+OPTIPHOT 200
2004
备件机台 6" 带自动传片功能
国外
Bruce Horizontal Furnace 扩散炉
Bruce
Horizontal Furnace
1985
在购热机 6" P扩散;1000℃±1℃;250片/LOT
国外
THERMCO Horizontal Furnace 扩散炉
THERMCO
Horizontal Furnace
1985
在购热机 6" P扩散;1000℃±1℃;250片/LOT
国外
THERMCO Horizontal Furnace 扩散炉
THERMCO
Horizontal Furnace
1985
在购热机 6" P扩散;1000℃±1℃;250片/LOT
国外
Bruce Horizontal Furnace 扩散炉
Bruce
Horizontal Furnace
1985
缺备件不能调试,作备件机6"
国外
Bruce Horizontal Furnace 扩散炉
Bruce
Horizontal Furnace
1985
在购热机 6" DRIVE工艺;1250℃±1℃;250片/LOT
国外
Bruce Horizontal Furnace 扩散炉
Bruce
Horizontal Furnace
1985
在购热机 6" 退火工艺;1050℃±1℃;250片/LOT
国外
Bruce Horizontal Furnace 扩散炉
Bruce
Horizontal Furnace
1985
在购热机 6" 退火工艺;1050℃±1℃;250片/LOT
国外
Bruce Horizontal Furnace 扩散炉
Bruce
Horizontal Furnace
1985
缺备件不能调试,6" 作备件机
国外
Bruce Horizontal Furnace 扩散炉
Bruce
Horizontal Furnace
1985
在购热机 6" P扩散;1000℃±1℃;250片/LOT
国外
Bruce Horizontal Furnace 扩散炉
Bruce
Horizontal Furnace
1985
在购热机 6" BPSG回流工艺;1100℃±1℃;250片/LO
国外
Bruce Horizontal Furnace 扩散炉
Bruce
Horizontal Furnace
1985
缺备件不能调试,6" 作备件机
国外
Bruce Horizontal Furnace 扩散炉
Bruce
Horizontal Furnace
1985
在购热机 6" P扩散;1000℃±1℃;250片/LOT
国外
THERMCO Horizontal Furnace 扩散炉
THERMCO
Horizontal Furnace
1990
在购热机 6" 栅氧化;1100℃±1℃;250片/LOT
国外
THERMCO Horizontal Furnace 扩散炉
THERMCO
Horizontal Furnace
1990
在购热机 6" 牺牲氧化;1100℃±1℃;250片/LOT
国外
THERMCO Horizontal Furnace 扩散炉
THERMCO
Horizontal Furnace
1990
在购热机 6" 垫氧化;1100℃±1℃;250片/LOT
国外
THERMCO Horizontal Furnace 扩散炉
THERMCO
Horizontal Furnace
1990
在购热机 6" 牺牲氧化;1100℃±1℃;250片/LOT
国外
THERMCO Horizontal Furnace 扩散炉
THERMCO
Horizontal Furnace
1993
在购热机 6" DRIVE工艺;1200℃±1℃;250片/LOT
国外
THERMCO Horizontal Furnace 扩散炉
THERMCO
Horizontal Furnace
1993
在购热机 6" 垫氧化;1100℃±1℃;250片/LOT
国外
THERMCO Horizontal Furnace 扩散炉
THERMCO
Horizontal Furnace
1993
在购热机 6" P扩散;1000℃±1℃;250片/LOT
国外
THERMCO Horizontal Furnace 扩散炉
THERMCO
Horizontal Furnace
1993
在购热机 6" P扩散;1000℃±1℃;250片/LOT
国外
TEL Horizontal Furnace扩散炉
TEL
Horizontal Furnace
1989
6" 四管卧式常压氧化
国外
NIKON NSR 1505G6E光刻机
NIKON
NSR-1505G6E
-
6"步进式
国外
SVG MSX1000涂胶显影机
SVG
MSX1000
2006
2" HMDS
国外
RIE CDE-7-3干法刻蚀机
RIE
CDE-7-3
1989
6" RIE刻蚀
国外
TEL TE5000干法刻蚀机
TEL
TE5000
-
6" SIO2刻蚀机
国外
TEL VCF 615扩散炉
TEL
VCF 615
-
6" 立式低压SIN CVD炉
国外
CANON MPA-600FA投影式光刻机
CANON
MPA-600FA
-
4-5-6"
国内
CANON MPA-600FA投影式光刻机
CANON
MPA-600FA
-
4-5-6"
国内
CANON MPA-600FA投影式光刻机
CANON
MPA-600FA
-
4-5-6"
国内
CANON MPA-600FA投影式光刻机
CANON
MPA-600FA
-
4-5-6"
国内
CANON MPA-600FA投影式光刻机
CANON
MPA-600FA
-
4-5-6"
国内
DAN SCOV-1900Hz
DAN
SCOV-1900Hz
-
5"在购热机
国内
DNS SDW-636-BV显影机
DNS
SDW-636-BV
-
5"在购热机 皮带式轨道
国内
DNS SDW-636-CVP显影机
DNS
SDW-636-CVP
-
5"在购热机 皮带式轨道
国内
ASML TWINSCAN 1100光刻机
ASML
TWINSCAN 1100
2002
新型320毫米/秒双级
最高的光学利用率
平行校准计量
国内
NIKON NSR S204B分步投影光刻机
NIKON
NSR-S204B
2000.11
分步投影光刻机
国外
TEL INDYPLUS-B-M
TEL
INDYPLUS-B-M
2013.06
300mm DIFF
国外
TEL INDYPLUS-
TEL
INDYPLUS-
-
300mm DIFF
国外
TEL ALPHA-303I-H
TEL
ALPHA-303I-H
2001.07
300mm DIFF
国外
TEL ALPHA-303I-H
TEL
ALPHA-303I-H
2006.11
300mm DIFF
国外
TEL ALPHA-303I-K
TEL
ALPHA-303I-K
2005.1
300mm DIFF
国外
TEL ALPHA-303I-K
TEL
ALPHA-303I-K
2005.11
300mm DIFF
国外
TEL FORMUAL-1S-H
TEL
FORMUAL-1S-H
2005.01
300mm DIFF
国外
KOKUSAI DD-1223V
KOKUSAI
DD-1223V
2003.11
300mm H2 ANNEAL
国外
KOKUSAI DD-1223VN
KOKUSAI
DD-1223VN
2006.06
300mm BIO
国外
KOKUSAI DJ-1236V-DF
KOKUSAI
DJ-1236V-DF
-
300mm BIO
国外
KOKUSAI DJ-1206V-DF
KOKUSAI
DJ-1206V-DF
2007.12
300mm HTO
国外
KOKUSAI DJ-1223VN
KOKUSAI
DJ-1223VN
2015.03
300mm HTO
国外
KOKUSAI DJ-1206V
KOKUSAI
DJ-1206V
2008.04
300mm HTO
国外
KOKUSAI DJ-1206VN
KOKUSAI
DJ-1206VN
2007.12
300mm HTO
国外
KOKUSAI DJ-1206VN-DF
KOKUSAI
DJ-1206VN-DF
-
300mm ALD (SiCN)
国外
KOKUSAI DJ-1206VN-DF
KOKUSAI
DJ-1206VN-DF
-
300mm ALD (SiO2)
国外
KOKUSAI DJ-1206VN-DF
KOKUSAI
DJ-1206VN-DF
-
300mm ALD (SiRN)
国外
KOKUSAI DJ-1206VN-DF
KOKUSAI
DJ-1206VN-DF
-
300mm Si3N4
国外
KOKUSAI DJ-1223VN
KOKUSAI
DJ-1223VN
2006.03
300mm Si3N4
国外
KOKUSAI DJ-1223VN
KOKUSAI
DJ-1223VN
-
300mm Si3N4
国外
KOKUSAI DJ-1260VN-DF
KOKUSAI
DJ-1260VN-DF
2014.09
300mm Si3N4
国外
KOKUSAI DJ-1223VN
KOKUSAI
DJ-1223VN
2012.02
300mm Si3N4
国外
KOKUSAI DJ-1223V
KOKUSAI
DJ-1223V
2001.07
300mm Si3N4 (THICK)
国外
KOKUSAI DJ-1206VN-DM
KOKUSAI
DJ-1206VN-DM
2006.11
300mm HQ-SiO2 (ALD)
国外
KOKUSAI DJ-1206VN
KOKUSAI
DJ-1206VN
2006.04
300mm Zro/Al2O3
国外
KOKUSAI DJ-1236VN
KOKUSAI
DJ-1236VN
2013
300mm D-POLY
国外
KOKUSAI DD-812V立式扩散炉
KOKUSAI
DD-812V
2006
6" PYRO
国外
KOKUSAI DD-812V立式扩散炉
KOKUSAI
DD-812V
2011
6" PYRO
国外
KOKUSAI DD-812V立式扩散炉
KOKUSAI
DD-812V
2011
6" PYRO
国外
KOKUSAI DD-812V立式扩散炉
KOKUSAI
DD-812V
2011
6" PYRO
国外
KOKUSAI DD-812V立式扩散炉
KOKUSAI
DD-812V
2011
6" PYRO
国外
KOKUSAI DD-812V立式扩散炉
KOKUSAI
DD-812V
2011
6" PYRO
国外
KOKUSAI DD-812V立式扩散炉
KOKUSAI
DD-812V
2011
6" PYRO
国外
KOKUSAI DJ-833V立式扩散炉
KOKUSAI
DJ-833V
2008.03
8" WELL(PYRO)HCL
国外
KOKUSAI DJ-833V立式扩散炉
KOKUSAI
DJ-833V
2008.03
8" Poly-Si
国外
KOKUSAI DD-802V立式扩散炉
KOKUSAI
DD-802V
-
8" N2 ANNEL
国外
KOKUSAI DD-802V-A立式扩散炉
KOKUSAI
DD-802V-A
-
8" PYRO
国外
KOKUSAI DD-802V立式扩散炉
KOKUSAI
DD-802V
-
8" Poly-Si
国外
CANON PLA-501FA投影式光刻机
CANON
PLA-501FA
-
4",5" 5台
国内
CANON MPA500-FAb投影式光刻机
CANON
MPA500-FAb
6"
国内
CANON MPA-600FA投影式光刻机
CANON
MPA-600FA
-
6"
国内
CANON PE M600HT投影式光刻机
CANON
PE M600HT
6"
国内
NIKON NSR 1505G3A步进式光刻机
NIKON
NSR-1505G3A
-
6"
国内
NIKON NSR 1505G4D步进式光刻机
NIKON
NSR-1505G4D
6"
国内
NIKON NSR l505G6D步进式光刻机
NIKON
NSR-l505G6D
-
6"
国内
NIKON NSR 1505i6A光刻机
NIKON
NSR-1505i6A
-
6"
国内
NIKON NSR 1505i7光刻机
NIKON
NSR-1505i7
-
6"
国内
NIKON NSR 2005i8光刻机
NIKON
NSR-2005i8
-
6" 步进式
国内
PEM-1000双面光刻机
PEM-1000
PEM-1000
6"
国内
NIKON NSR 504光刻板清洗机
NIKON
NSR-504
6"
国内
HITACHI SEM S-6000扫描电镜
HITACHI
SEM S-6000
6"
国内
HITACHI SEM S-6600扫描电镜
HITACHI
SEM S-6600
6"
国内
HITACHI SEM S-7000扫描电镜
HITACHI
SEM S-7000
6"
国内
HITACHI S-5000扫描电子显微镜
HITACHI
S-5000
-
6"
国内
HITACHI KLA8100扫描电镜
HITACHI
KLA8100
-
6"
已售出
KLA 2131缺陷检测设备
KLA科磊
2131
-
6"
已售出
NISSIN NH-20SR离子注入机
NISSIN日新
NH-20SR
-
6"
国内
DF4中束流离子注入机
中束流
DF4
6"
国内
DF4中束流离子注入机
中束流
DF4
6"
国内
高能IH-860离子注入机
高能
IH-860
-
6"
国内
高能IX-1500离子注入机
高能
IX-1500
-
6"
国内
Varian 120-10大束流离子注入机
Varian
120-10
-
6"
国内
Varian 8010大束流离子注入机
Varian
8010
-
6"
国内
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