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名称:
ULVAC 蚀刻装置NE-730
类别:
半导体设备(预处理)
制造商:
ULVAC
设备型号:
NE-730
制造日期:
2002-12
人气:
在 线 咨 询
详细介绍
制造商:ULVAC
型号:NE-730
制造日期:2002-12
规格参数:
晶圆尺寸4英寸
兼容基板Si、玻璃等
蚀刻材料Si, SiO2,SiN, 铁电材料
蚀刻气体SF6, CF4, CHF3, C4F8, Ar, O2
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