名称：ULVAC 蚀刻装置NE-730 类别：半导体设备(预处理) 制造商：ULVAC 设备型号：NE-730 制造日期：2002-12 人气： 在 线 咨 询

详细介绍

制造商：ULVAC 型号：NE-730 制造日期：2002-12 规格参数： 晶圆尺寸4英寸 兼容基板Si、玻璃等 蚀刻材料Si, SiO2，SiN, 铁电材料 蚀刻气体SF6, CF4, CHF3, C4F8, Ar, O2