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名称：ULVAC 蚀刻装置NE-730
类别：国外二手半导体设备
制造商：ULVAC
设备型号：NE-730
制造日期：2002-12
人气：
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详细介绍
制造商：ULVAC
型号：NE-730
制造日期：2002-12
规格参数：
晶圆尺寸4英寸
兼容基板Si、玻璃等
蚀刻材料Si, SiO2，SiN, 铁电材料
蚀刻气体SF6, CF4, CHF3, C4F8, Ar, O2
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