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二手半导体设备

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国外二手半导体设备

名称：ULVAC 离子蚀刻设备RMD-200M

类别：国外二手半导体设备

制造商：ULVAC

设备型号：RMD-200M

制造日期：2000-11

人气：

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详细介绍

制造商：ULVAC

型号：RMD-200M

制造日期：2000-11

规格参数：

基板尺寸φ200 t1.2

电源46.3kVA 3φ 50Hz

所需冷却水-设备55.5ℓ/min

所需冷却水-所需气压4.5~6MPa

所需冷却水-设备重量1555kg

水压31.5~3MPa

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