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名称:
Panasonic等离子清洗机ANUCL13S-MFN
类别:
半导体设备(预处理)
制造商:
Panasonic
设备型号:
ANUCL13S-MFN
制造日期:
2011-03-28
人气:
在 线 咨 询
详细介绍
制造商:Panasonic
型号:ANUCL13S-MFN
制造日期:2011-03-28
规格参数:
电源电压单相 200V 15A 50/60Hz
工作台尺寸300mm
2轴机器人X:500 Y:400mm
等离子加工范围约5mm
重量250kg
氩气0.3~0.5MPa/1.5~3L/分
氧气0.3~0.5MPa/20~30mL/分
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