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设备名称
制造商
型号
年份
详细配置
状 态
LAM TE490干法刻蚀机
LAM
TE490
-
6"
国内
LAM TE490干法刻蚀机
LAM
TE490
-
6"
国内
LAM SEZ FS 103-6单片旋转腐蚀机
LAM泛林
FS 103-6
1996
6"
国内
LAM SEZ FM101-6-B单片旋转腐蚀机
LAM泛林
FM101-6-B
1998
4-6"
国内
LAM RAINBOW 4520 XLE刻蚀机
LAM
4520XL
2014
设备完整不缺件;
国内
LAM 490B干法刻蚀机
LAM泛林
490B
-
6"备件机;
国内
LAM SEZ203蚀刻机
LAM泛林
SEZ203
-
设备完整不缺件;
国内
LAM SEZ223蚀刻机
LAM泛林
SEZ223
2006
8"设备完整不缺件,含安装调试(6月下旬
国内
LAM SEZ203蚀刻机
LAM泛林
SEZ203
-
设备完整不缺件,含安装调试,有3台现货;
国内
LAM 2300e5 KIYO MCX刻蚀去胶一体机
LAM
2300e5 KIYO MCX
-
12"设备完整不缺件,金属刻蚀/去胶一体
国内
LAM 2300e4 KIYO MCX刻蚀去胶一体机
LAM
2300e4 KIYO MCX
-
12"设备完整不缺件,金属刻蚀/去胶一体
国内
LAM Research EOS晶圆清洗设备(16腔)
LAM
Research EOS
-
12"设备完整不缺件;
国内
LAM Research EOS晶圆清洗设备(8腔)
LAM
Research EOS
-
12"设备完整不缺件,缺控制板;
国内
LAM Vector Express CVD化学气相沉积设备
LAM
Vector Express CVD
-
12"设备完整不缺件;
国内
LAM 4400B干法刻蚀机
LAM
4400B
2000
设备完整不缺件,有1台现货;
国内
LAM RAINBOW 4520干法刻蚀机
LAM
4520
1996/1997/
设备完整不缺件,有3台现货;
国内
LAM 490干法刻蚀机
LAM
490
1993/1995
设备完整不缺件,有2台现货;
国内
LAM 4520XL二氧化硅RIE刻蚀机
LAM
4520XL
2019
设备完整不缺件;
国内
LAM RAINBOW 4520干法刻蚀机
LAM
4520
1997
设备完整不缺件;
国内
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注:设备状态不定期更新,是否已售出请咨询。