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CANON NIKON DISCO ASML AMAT TEL LAM KLA HITACHI
ID 设备名称 年份 详细配置 状 态
4193 CANON FPA-3000EX5光刻机 1998 设备完整不缺件,国内交货,含安装调试 国外
4192 CANON FPA-3000EX6光刻机 2001 8"设备完整不缺件,可改6"4"; 国内
1691 CANON MPA-600FA投影式光刻机 - 设备完整不缺件; 国内
3920 CANON CAP-3500晶片分选机 - 设备完整不缺件,有现货1台; 国内
3890 CANON FPA-3000i5步进式光刻机 - 8"设备完整不缺件; 国外
3742 CANON MPA-600FA投影式光刻机 - 4"6"设备完整不缺件; 国内
1902 CANON PLA-501FA投影式光刻机 - 5"设备完整不缺件; 国内
4133 CANON FPA-5500 IZA步进式光刻机 - 设备完整不缺件,原厂已拆机; 国内
4101 CANON MPA-600FA投影式光刻机 2006 4"5"6"设备完整不缺件100-2 国内
4100 CANON MPA-500FA投影式光刻机 - 2"3"4"5"设备完整不缺件; 国外
4099 CANON MAS-801HR低损伤干法去胶机 - 6" 国内
4098 CANON VIR-630外观检查仪 1989 6" 国内
4016 CANON BESTEM-D321 Plus固晶机 2016 设备完整不缺件,有3台现货在台湾,不 国内
3908 CANON FPA-2500i3步进式光刻机 1994 设备完整不缺件,含安装调试; 国内
3889 CANON FPA-3000i4步进式光刻机 1994 拆卸前处于工作状态,设备在亚洲.由于 国外
3880 CANON FPA-2500i2步进式光刻机 - - 国外
3838 CANON FPA-2500i3步进式光刻机 1994 美国在线热机2台,设备完整不缺件; 国外
3837 CANON FPA-3000i4步进式光刻机 1998 美国线上热机,完整不缺件;
晶圆尺
国外
3806 CANON FPA-3000i5步进式光刻机 1997 6"韩国As is; 国外
3740 CANON MPA-600FA投影式光刻机 1991 5" 国内
3736 CANON MAS-801HR干法去胶机 - 5"单片等离子体去胶,在线热机(第二 国内
3737 CANON MRS-8000光刻版刷片 - 6",8"光刻版刷片,在线热机; 国内
3739 CANON MPA-600FA投影式光刻机 1988 5" 国内
3741 CANON MPA-600FA投影式光刻机 1990 5" 国内
3749 CANON PLA-600FA投影式光刻机 1985 4" 国内
3744 CANON MPA-500FA光刻机 1995 5" 国内
3748 CANON PLA-501FA投影式光刻机 1983 5"交钥匙; 国内
3745 CANON MPA-500FAB光刻机 1995 5" 国内
3746 CANON MPA-500FAB光刻机 1996 5" 国内
3747 CANON MPA-500FA光刻机 1983 5" 国内
3738 CANON MPA-600FA投影式光刻机 1988 5" 国内
3743 CANON MPA-500FA光刻机 1982 5" 国内
3238 CANON SPF-730溅射台 1986 - 国内
3050 CANON MPA-600Super光刻机 1995 - 国内
3051 CANON MPA-600Super光刻机 1995 - 国内
3233 CANON SPF-730溅射台 1987 - 国内
3234 CANON SPC-530H溅射台 1983 - 国内
3235 CANON SPC-530H溅射台 1997 - 国内
3237 CANON SPF-730H溅射台 1989 - 国内
3239 CANON SPF-730HC溅射台 1988 - 国内
3240 CANON SPF-730溅射台 1990 - 国内
3241 CANON SPF-730H溅射台 1991 - 国内
3242 CANON SPF-730溅射台 1990 - 国内
3243 CANON SPF-730溅射台 1990 - 国内
3244 CANON SPF-730溅射台 1989 - 国内
3259 CANON MPA-600Super光刻机 1990 - 国内
3236 CANON SPF-730溅射台 1986 - 国内
2757 CANON PLA-501FA投影式光刻机 - - 国外
2616 CANON MPA-600FA投影式光刻机 - 4"5"6" 国内
2613 CANON MPA-600FA投影式光刻机 - 4"5"6" 国内
2749 CANON MPA-500FA光刻机 1995 5" 国外
2614 CANON MPA-600FA投影式光刻机 - 4"5"6" 国内
2615 CANON MPA-600FA投影式光刻机 - 4"5"6" 国内
2745 CANON PLA-501FA投影式光刻机 1983 5" 国外
2746 CANON MPA-500FA光刻机 1983 5" 国外
2748 CANON MPA-500FAB光刻机 1995 5" 国外
2617 CANON MPA-600FA投影式光刻机 - 4"5"6" 国内
2747 CANON MPA-500FAB光刻机 1996 5" 国外
2750 CANON MPA-500FA光刻机 1982 5" 国外
2566 CANON PE M600HT投影式光刻机 - 6"有6台; 国内
2534 CANON CDS-630匀胶显影机 - 有1台; 国内
2567 CANON MPA-600FA投影式光刻机 - 6"; 国内
2568 CANON MPA500-FAb投影式光刻机 - 6"有1台; 国内
2569 CANON PLA-501FA投影式光刻机 - 4",5"有5台; 国内
2426 CANON FPA 5510 iX步进式光刻机 2014 12"线上热机; 国外
2324 CANON FPA6000es5步进式光刻机 2003 - 国外
2290 CANON-ANELVA ILD-4100SR刻蚀机 1996 8"OX Dry Etcher; 国外
1904 CANON MPA-500FAB光刻机 1996 5" 国内
1907 CANON MPA-500FA光刻机 1982 5" 国内
1905 CANON MPA-500FAB光刻机 1995 5" 国内
1903 CANON MPA-500FA光刻机 1983 5" 国内
1906 CANON MPA-500FA光刻机 1995 5" 国内
1687 CANON M-222LD-D检测仪 2011 OTHERS 国外
830 CANON FPA-5500iZ步进式光刻机 2001 - 国外
993 CANON FPA-6000 ES6a光刻机 2007 Uniformity(1.811%) 国外
997 CANON FPA-6000 ES5光刻机 2003 6" Reticle(SMIF) \ 国外
1000 CANON FPA-5500iZ+步进式光刻机 2005 - 国外
1006 CANON FC7100 PVD气相沉积 2011 1x PC, 3x PVD (Dua 国外
1805 CANON PLA-600光罩校准器 - - 国外
1069 CANON FC7102 PVD气相沉积 2005 - 国外
1099 CANON C-7100GT PVD气相沉积 2007 - 国外
1487 CANON FPA-3000i4步进式光刻机 - Working 国外
1688 CANON ILC-1080 PVD气相沉积 2003 PVD 国外
1689 CANON ILC-1080 PVD气相沉积 2001 PVD 国外
1690 CANON I-1060SV2 Plus1晶圆刻蚀机 1999 PVD 国外
1692 CANON MAS-8220刻蚀机 - ETCH 国外
1694 CANON HP-8800检测设备‌ 2001 RTP 国外
1806 CANON PLA-600F光罩校准器 - - 国外
1809 CANON特型L-400EK-L薄膜沉积设备 2002 设备名称:薄膜沉积设备
型号:特型
国外
1811 CANON C-3103溅射设备 1996 设备名称:溅射设备
型号:C-31
国外
1815 CANON L-332S-FH溅射设备 1998 - 国外
1817 CANON L-501S-FHL溅射设备(CtoC) 2004 设备名称:溅射设备(CtoC)
国外
1818 CANON C-7960FL溅射装置单晶片型 1998 - 国外
1819 CANON SPF-730溅射台 - 设备名称:溅射设备批量类型
型号:
国外
1824 CANON L-201D-L真空蚀刻设备 1998 - 国外
1826 CANON L-310R-E真空蚀刻设备(ECR) 1999 设备名称:真空蚀刻设备(ECR)
国外
1693 CANON MAS-8200刻蚀机 - ETCH 国外

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注:设备状态不定期更新,是否已售出请咨询。