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DISCO DFD6362划片机
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AMAT P5000刻蚀机
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AUTOMOTION LC4BP13002电机控制器
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BUEHLER ECOMETS3研磨封装
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Burker D8 XRD薄膜测量
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ULVAC EBX-1000蒸发台
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EVG 620晶圆键合机
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KLA EDR 5200+电子束缺陷检查设备
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INNOTEC LLE-2500薄膜沉积
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KEYENCE KS-1100薄膜测量
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KLA Tencor CS2薄膜测量
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Leybold UL100检漏仪
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LOOMIS LSD100研磨封装
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MARCH CS-1701刻蚀机
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MOCVD薄膜沉积
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OKK OKV-61NR清洗甩干机
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Optical OAI涂胶显影
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Optiphot 88光学显微镜
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OXFORD Plasmalab System 100蚀刻系统
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P.System WPS3100芯片测试
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RIGAKU 3620薄膜测量
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Modular RTP-600S退火炉
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Rudolph 2-4C薄膜测量
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SAMCO PD-3800薄膜沉积
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SAMCO RIE-200IPC刻蚀去胶
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SPTS HRM ICP刻蚀去胶
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Tencor RS35C薄膜测量系统
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