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ULVAC EI-7K蒸发台
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EBARA F-REX300S CMP化学机械研磨
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Nippon Sanso气体处理设备
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OXFORD PRO NGP1000蚀刻系统
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AMAT P5000刻蚀机
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HITACHI HL7800M透射电镜
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HITACHI HL8000M刻蚀机
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HITACHI S4800 II扫描电子显微镜
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HITACHI S-4700 II扫描电子显微镜
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HITACHI S-4700 I扫描电子显微镜
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HITACHI S-9260A扫描电子显微镜
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HITACHI S-9260A扫描电子显微镜
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TEL ACT12涂胶显影机
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TEL ACT8(2C4D)涂胶显影机
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NIKON NSR SF200光刻机
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NIKON NSR 207D光刻机
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NIKON NSR 2205i12D光刻机
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NIKON NSR 2005i9C步进式光刻机
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NIKON NSR 1505G7E光刻机
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NIKON NSR SF130光刻机
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AMAT Amat Centura2 DSP等离子化学气相沉积
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AMAT Centura Ultima HDP等离子化学气相沉积
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AMAT Centura Ultima等离子化学气相沉积
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AMAT Centura2 DPS+Poly Etch干法蚀刻机
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Aixtron Aix 2800G4 TM MOCVD设备
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EVG 510晶圆键合机
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AST PEVA-600I电子束蒸镀机
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TEAMs ITO薄膜沉积设备
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Aixtron Aix200 MOCVD设备
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TEL ALPHA 8S扩散炉
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Peter Wolters AC-1500P抛光机
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BBS E-450抛光机
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KLA Leica INM300金相显微镜
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KLA P-15单向节流阀
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KLA PHX DF 5.0缺陷检测设备
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KLA Ultrascan 9300掩模版检测设备
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KLA Ultrascan 9000光测量系统
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KLA AFS-3220晶圆缺陷检测
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HITACHI RS-5500扫描电子显微镜
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注:设备状态不定期更新,是否已售出请咨询。