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TOKYO MAC-92光罩缺陷检测设备
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KLA 2131缺陷检测设备
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TORAY 1000EX-2光罩缺陷检测设备
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NIKON AMI-3500量测对准设备
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SCREEN SK-3000-BVPEU 干法刻蚀机
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TKK RETICLE TRANSFER掩模设备
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LION KH-02颗粒检测仪
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KOBELCO LTA-1000量测设备
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HITACHI TS-3700粉尘监测仪
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DNS LA-820退火炉
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AMAT RTP XE CENTURA退火炉
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CANON HP-2106退火炉
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TOPCON VI-3200载盘检测系统
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RIGAKU 3604光谱分析仪
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AMAT VIISTA HC大束流离子注入机
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NIKON NSR-2005i9C步进式光刻机
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NIKON NSR-1755i8A光刻机
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SUSS Falcon Polyimid Developer晶圆键合设备
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SUSS CB200晶圆键合设备
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TEL FORMULA立式扩散炉
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TEL ALPHA-85Z立式扩散炉
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TEL ALPHA-801D立式扩散炉
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TEL Indy-PE_6L2B立式扩散炉
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TBC Bio-Rad红外光谱仪
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ESPEC PHH-201M 环境测试设备
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RIGAKU GXR300射线分析仪
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SCREEN SP-W621刻蚀机
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HITACHI M-602A干法刻蚀机
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TEL VESTA-NV3蚀刻机
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AMAT G5-MESA蚀刻机
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TEL TE-8500蚀刻机
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TEL UNITY PE蚀刻机
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AMAT Centura Etch Enabler 300 2蚀刻机
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HITACHI U-702A刻蚀机
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