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VGF单晶炉 双腔甩干机 ALD原子层沉积设备 高真空多靶磁控溅射镀膜机
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当前位置:
半导体设备
 
名称:磁控溅射镀膜机
类别:真空设备
制造商:-
设备型号:-
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保温杯定制13655898845
详细介绍
主要由真空室、磁控靶、旋转基片架、真空系统、机架、电器控制等几大部分组成。可用来制备导电膜、金属膜、介质膜、半导体膜、绝缘膜、多层膜等。设备结构紧凑,占地面积小适合高校实验室及科研院所。